EELS 电子能量损失能谱
Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS
配备在穿透式电子显微镜上的电子能量损失能谱(EELS, Electron Energy Loss Spectroscopy)，是一种高端的成份分析设备，主要应用于低原子序固体材料，例如碳氮氧等元素。EELS的能量解析度约1电子伏特(eV)，搭配空间解析度约1纳米(nm)的扫瞄穿透式电子显微镜(STEM, Scanning Transmission Electron Microscope 功能，STEM/EELS 已经成为纳米材料强而有力的分析工具。
机台设备
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300KV Tita -
Gatan 965 EELS
应用实例
EELS的能量过滤(Energy Filtered)成像技术可用于半导体低介电常数材料的观察，过滤不同能量，所看到的对比会不同。
化学键结与氧化态分析
利用EELS的近边精细结构(Near Edge Fine Structure), 用于鉴定16nm半导体制程中鳍状电晶体(FFET)的栅极的各层氧化物中, 辨别氧元素的不同化学键结。
纳米尺度元素分布分析
EELS 搭配STEM的线扫描功能用于半导体低介电常数材料的成份变化。
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台湾实验室 材料分析 (MA)
