SAT 超音波扫瞄显微镜
Scanning Acoustic Tomography
超音波扫瞄显微镜(SAT)的全名为Scanning Acoustic Tomography，一般我们又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope)，而我们业界所听到的SAT 是指超音波频率高于20KHz 者，它可以穿透一定厚度的固态与液态物质，并检测其结构组成是否有异常。目前使用之介质，通常为纯水。
其检测的基本原理为利用超音波发射源 (Probe) 透过纯水为介质而传导到待测试片上，经由超音波的反射或穿透等的作用，将此讯号经机台特定软体处理成像。而 Probe的选用会因为试片的厚度与材质而有所不同类型的选择。
最广范围15~230MH的转换器，可应用于各种高阶电子产品如Microelectronics, LEDs, MEMS, Power Modules, High-Tech device 等。可穿透厚度大于 4mm 的树脂封装。
机台种类
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| Hitachi FS300II | Sonoscan GEN6 |
分析应用
超音波主要用来检测、解析IC内部不同位置的脱层、气洞、裂痕及粘着状况，随着IC的微细化发展，超音波也将朝向高频，高Dumping、超微细Beam 的方向发展。此设备可以用来评估半导体电子业之封胶化合物，适合检查封胶内的微小缺陷：
- 封装崩裂 Package crack
- 层状结构剥离 Delamination
- 脱层(Delamination)
- 晶粒崩裂 Die crack
- 树脂合成物裂缝 Void in resin
- 晶粒附着不良 Poor die attachment
- 金属填孔的接触不良 Poor contact
闳康科技之超音波检验系统特色可有3D 成像， 即时3D 成像，0.5um 高度分辨率，1000mm/秒高速度，A扫瞄(A-scan)，B扫瞄(B-scan)，C扫瞄(C-scan)，S图像(S-image) 和透射式扫瞄(T-scan)。
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