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EFA
电性故障分析

电性量测是故障分析与可靠度评估流程中的第一步,透过非破坏性的量测方式,即可快速判断组件是否存在异常,并有效缩小后续材料分析、结构分析或破坏性分析的范围,提升整体分析效率与准确度。

 

电性量测的目的,在于验证并量化半导体电子组件的关键电性参数与动作特性,包含电压–电流(I-V)、电容电压(C-V)特性曲线,以及电阻、电容、电感与讯号波形等量测结果,透过精确的电性量测,可协助工程人员判断组件是否符合设计规格,并进一步分析异常行为背后的失效模式与故障机制,作为后续故障分析(FA)、可靠度验证或制程改善的重要依据。

 

闳康科技芯片层级(Chip Level)量测能力|支援硬针与软针探测,对应多元分析需求

闳康科技可提供 Chip Level 电性量测服务,支持硬针与软针探测方式,其中软针特别适用于线路修补后的电性验证与确认。量测作业搭配高精度 Probe Station 与客制化针座,可同时进行多点接触(最多六针),以提升量测效率与稳定性;Probe Station 并整合 Laser Cutting System,可辅助精准定位量测区域,支持微小结构或局部电性分析需求。

 

闳康科技量测设备与系统配置|涵盖低电流到高功率的完整电性量测范围

闳康科技建置完整的电性量测设备组合,能对应从低漏电组件到高功率器件的测试需求,主要设备包含:

  • 半导体参数分析仪
    • HP 4156C
    • Keysight B1500A
  • 高功率器件分析仪
    • Keysight B1506A±3 kV / 20 A
  • 高压电源供应器
    • Keithley 2410
    • Keithley 22905 kV / 5 mA
  • 多输出与一般电源供应器
  • 数位电表(DMM)与示波器
  • 直流电子负载(DC Electronic Load
  • 讯号产生器(Function Generator

透过设备间的整合配置,可灵活执行 DCAC 与动态电性量测。

Service Examples
服务项目

电性量测

PEM-CCD

PEM-InGaAs

OBIRCH

Thermal EMMI

C-AFM

AFM-based Nano-probing

SEM-based Nano-probing

EBIC/EBAC

EBIRCH

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