FE-AES 欧杰电子能谱分析仪
JEOL JAMP-9500F为一场发射式扫描欧杰电子能谱分析仪，具有半球型(HSA)的能量解析器，可以达到极佳0.05%的电子能量分辨率；并且拥有极高的扫描电子影像(SEM )解析度3nm，欧杰Mapping的解析度则可达到8nm。
它是一种表面分析的精密仪器，可适用于表面5~8nm厚度物质之成份定性与半定量分析；除此之外，亦可搭配离子蚀刻进行多层薄膜间互相扩散现象的分析，或是污染成份的厚度评估，可针对产品表面残留物的成份与含量作定期的监控。
另外，藉由database的辅助亦可提供化学态的分析，特别适用于过渡金属元素，更可以针对多种化学态共存的状态下，分析其纵深分布的情形。
分析应用
- 欧杰能谱多点分析 (multi-points)
- AES纵深分析 (depth profile)
- AES mapping分析
- 监测样品表面洁净度
- 化学态分析
- 样品表面成份与半定量分析
- 表面氧化层厚度评估
- 杂质分析 (0.1%浓度以上)
机台种类
图-1 JEOL JAMP-9500F
应用实例
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图-2 (a) Al pad纵深分析能谱 -
图-3 (b) Al pad表面分析能谱
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图-4 (c) 氧化铁的化学态分析
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图-5 (d) 导通孔(TSV) AES mapping
常见问题
Q1. 请问 AES 分析面积大约是多少 ?
A. AES分析面积会根据分析区域，分析结构与需求而定，最小分析面积可以到0.1um x 0.1um，最大可达400 um x 400um。
Q2. XPS 跟 AES 有什么差別 ?
A. XPS分析光源是以X-ray去激发样品表面来侦测光电子；AES是以电子束分析样品表面来侦测Auger电子，而电子束的beam size较小，所以针对分析区域小于30um的样品(如chip上的pad, 金手指…等) 可考虑由Auger分析。若需进行化学态分析或定量分析，则优先考量XPS。
Q3. 请问针对不导电的样品 AES 还能分析吗 ?
A. 基本上AES在分析时会开flood gun进行电荷补偿，可增加样品导电性，若样品导电性严重不佳，则可考量XPS分析。
Q4. AES 除了做表面元素成份分析还能做什么 ?
A. 除了做元素成份分析，还可以做纵深分析、部分化态键结等分析，可依您分析目的做进一步讨论，再提供最合适的分析方案帮助您找出问题。
Q5. 请问若只做元素成份分析送样，一般交期是多久 ?
A. 一般收到样品确认完需求，1-3个工作天会提供报告。
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