分析应用
- 有效载子浓度(Carrier Concentration)纵深分析
- 电阻率纵深分布分析
- 接面深度(Junction Depth)分析
- 深接面的浓度分布快速分析
- 离子布植退火后制程监控
机台种类
应用实例
常见问题
Q1. SRP 分析所需最小面积要多少 ?
A. 机台两根探针的间距约为80um，故建议分析面积至少大于100um x 100um，若考量测分析时电力线的影响，分析面积最好大于160um x 160cm，可分析面积长度愈长，解析度愈佳。
Q2. SRP 分析一個 Step 的间距约为多少 ?
A. SRP一个Step的间距大小，取决于可分析面积的大小与分析深度，视不同的研磨角度而有不同。分析深度需求大时，研磨角度愈大，则一个Step的间距越大。
目前厂内Step的间距有0.5um、0.25um、0.125um、0.05um、0.025um等。
目前厂内Step的间距有0.5um、0.25um、0.125um、0.05um、0.025um等。
Q3. SRP 分析深度能到多深 ?
A. 可分析的深度取决于可分析面积的大小与研磨角度，请提供分析区域的尺寸，我们会有专人评估样品可量测的深度。
Q4. 样品分析有没有什么条件限制呢 ?
A. SRP分析是量测样品之电阻值，再经由标准片换算后得到电阻率及载子浓度，目前标准品以矽基材为主，Ge基材可参考文献，故SRP目前仅能计算以矽与Ge为基材样品的载子浓度。
若是其他材料需要进行浓度量测，建议可以使用SIMS来分析。
若是其他材料需要进行浓度量测，建议可以使用SIMS来分析。
Q5. 若我要送样，我需提供那些样品资讯 ?
A. 需提供样品基材晶向为( 100 )或者是( 111 )、基板的种类是P型或者N型、分析的深度等资讯。
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上海实验室｜SIMS、SRP、SCM、FE-AES、α-step、Thin Film Analyzer 、FTIR、HRXRD
