机台种类
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| 图-1 (a)Nano View NVE-10100 | 图-2 (b)Bruker Contour GT |
分析应用

图-3 表面缺陷形貌(a)光学干涉形貌仪影像;(b)二次电子显微镜影像

图-4 (c) 软性印刷电路板之金手指; (d) 光罩上铬金属薄膜图形检测

图-5 金凸块形貌(e) 光学干涉形貌仪影像; (f) 二次电子显微镜影像

图-6 (g) 发光二极体晶粒上金属电极; (h) 薄膜电晶体面板之光阻间隙(Photo spacer)之线上检测

图-7 发光二极体晶粒各层次阶高与尺寸量测
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上海实验室|EFA / 整合分析

