机台种类
图-1 (a) 50-1000X (b) 100-500X / 40-200X / 5-75X (c)50-1000X
分析应用
光学显微镜的放大倍率及解析度，虽无法满足许多材料表面观察之需求，但仍广泛应用于下列之各项应用，诸如：
- 元件横截面结构观察
- 平面式去层次 (Delayer) 结构分析与观察
- 析出物空乏区 (Precipitate Free Zone) 的观察
- 差排线与过蚀刻(Overetch)凹痕的观察
- 氧化叠差(Oxidation Enhanced Stacking Faults, OSF)的研究等
图-2 (a) Metal (b) Poly (c) OD/AA
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