薄膜结构与厚度分析

太阳能电池由多层薄膜与功能结构所组成，包括抗反射层（ARC）、发射极（Emitter）、金属电极以及背面铝层（BSF）等，各层厚度与材料品质皆会直接影响光吸收效率、载子传输能力与整体转换效率。透过薄膜与层结构分析，可完整解析太阳能电池截面结构、材料组成与界面品质，协助制程优化并提升电池效能与可靠度。

 

太阳能电池薄膜结构分析重点

 

针对太阳能电池多层膜堆叠结构进行截面观察与材料鉴定，确认各功能层是否符合制程设计要求。

常见分析项目包含：

 

• 抗反射层厚度量测
• 薄膜厚度分析
• 发射极层结构分析
• 背面铝 BSF 结构分析
• 多层膜堆叠结构观察
• 薄膜材料成分分析

 

常用技术

 

• SEM / EDS
• TEM
• FIB 截面分析

 

SEM – BSF染色

 

 

SEM – 发射极结染色

 

 

基板针孔

 

   

 

(a)FIB 图像；(b)SEM 图像

 

FIB 切割基板针孔

 

基板针孔 (X-TEM)

 

 

截面TEM