太阳能电池由多层薄膜与功能结构所组成，包括抗反射层（ARC）、发射极（Emitter）、金属电极以及背面铝层（BSF）等，各层厚度与材料品质皆会直接影响光吸收效率、载子传输能力与整体转换效率。透过薄膜与层结构分析，可完整解析太阳能电池截面结构、材料组成与界面品质，协助制程优化并提升电池效能与可靠度。
针对太阳能电池多层膜堆叠结构进行截面观察与材料鉴定，确认各功能层是否符合制程设计要求。
常见分析项目包含：
(a)FIB 图像；(b)SEM 图像
截面TEM
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