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IC制造

IC制造属半导体产业链中游,是将设计好的电路蓝图,透过高精密物理与化学技术制作在硅晶圆上的核心制程。其基本流程包含晶圆准备与氧化、透过光罩(Mask)进行光刻转印、电浆蚀刻(Plasma cleaning)及湿式蚀刻(Wet Etchin)去除多余材料、沉积薄膜、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD) 、ALD(Atomic Layer Deposition,原子层沉积) 、离子布植(Ion Implantation)或掺杂(Doping)改变元件导电性、双镶嵌镀铜(Copper Dual-Damascene Electroplating)、 CMP(Chemical-Mechanical Planarization,化学机械平坦化)磨平表面。此过程犹如纳米级3D列印,于无尘室中重复步骤以实现复杂电路结构。

Application Examples

应用实例

球面像差修正扫描穿透式电子显微镜(Cs-STEM)

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01.01
1970
本次 MAFT 研讨会以「创新器件 & 封装」为核心主题,邀请专家学者们,聚焦超晶格铁电存储器、硅光子、6G高频EMI封装与量子计算等前瞻议题,带领与会者深入掌握下一世代半导体技术发展脉络。
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