感应耦合电浆质谱分析仪
ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）
感应耦合电浆质谱分析仪（ICP-MS）是一种高灵敏度的元素分析技术，主要用于测定样品中的微量元素与同位素组成，ICP-MS 利用高温电浆将样品原子化并离子化，再透过质谱仪依据离子的质荷比（m/z）进行分离与侦测，可同时分析多种元素并具有极低的侦测极限。
ICP-MS 具有高灵敏度、快速分析、多元素同时测定与宽广动态范围等优点，其侦测极限可达 ppt（10⁻¹²）等级，因此特别适合进行微量元素与痕量污染物分析，在分析过程中，液体样品通常经由雾化器转换为气雾状后导入电浆火炬，在约 6000–10000 K 的高温电浆中被完全原子化并离子化，形成带电离子后进入质量分析器，依据质荷比进行分离并由侦测器量测讯号强度，最终得到样品中的元素种类与浓度资讯。
技术特色
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极高灵敏度（ppt 等级侦测能力）
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可同时分析多种元素
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可进行元素同位素分析
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分析速度快、样品需求量少
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适用于多种液体或溶解样品
分析应用
材料纯度与痕量金属分析
分析材料中的痕量元素含量，用于评估材料纯度与品质控制。
药物与生医样品元素分析
可用于药品、生物样品或人体组织中的元素分析，例如药物代谢与毒理研究。
食品与农产品安全检测
分析食品中的重金属或微量元素含量，确保食品安全与品质。
水质与环境监测
可检测饮用水、地下水及工业废水中的微量元素，进行环境监测与法规符合性检测。
土壤与环境污染分析
分析土壤与沉积物中的重金属元素含量，评估环境污染与生态风险。
半导体材料与晶圆污染分析
用于检测晶圆、制程材料或化学药液中的微量金属污染，协助半导体制程品质控制。
重金属与微量元素检测
可分析样品中极低浓度的金属元素，如 Pb、Cd、Hg、As 等，广泛应用于环境与产品安全检测。
机台种类
Agilent 7700x ICP-MS
(MA-tek 配置 Agilent 7700x 感应耦合电浆质谱分析仪（ICP-MS），可进行高灵敏度的微量元素与同位素分析。ICP-MS 利用高温电浆将样品原子化并离子化，再透过质谱分析器依照离子的 质荷比（m/z） 进行分离与侦测，可同时量测多种元素并具备极低的侦测极限。
Agilent 7700x 采用高效能电浆系统与碰撞 / 反应池（Collision/Reaction Cell）技术，可有效降低干扰讯号，提升微量元素分析的准确度与稳定性，适用于半导体材料、环境样品及生物样品等多种分析应用。
系统特色
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ppt 等级侦测极限，适用于超微量元素分析
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多元素同时分析能力
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碰撞 / 反应池技术降低多原子干扰
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分析速度快、灵敏度高
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适用于多种液体与溶解样品
