光学膜厚量测仪

当光源垂直入射至样品表面的薄膜时，光线会在薄膜与基板界面之间产生反射与透射现象。部分光线会在薄膜表面被反射形成反射光，另一部分光线则穿透薄膜形成透射光。

由于薄膜具有一定厚度，光线在不同界面之间会产生多次反射并形成光学干涉，不同厚度的薄膜会造成反射光强度与光谱分布产生特定变化，仪器透过侦测反射光的光谱强度（%R），并结合光学模型计算，即可推算出薄膜的薄膜厚度、多层薄膜结构资讯。

可快速量测透明或半透明薄膜的厚度与光学参数。此系统结合显微镜光学系统与光谱反射技术，透过分析薄膜反射光谱即可计算薄膜厚度与光学常数，Filmetrics F40 在量测时，光源照射于薄膜表面，光线在薄膜不同界面之间产生反射与干涉，仪器透过分析反射光在不同波长下的变化，即可快速计算出薄膜厚度，系统可与显微镜整合，使量测光点缩小至微米尺度，适合分析微结构区域或图案化样品上的薄膜厚度。