XPS X光光电子能谱仪

X光光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS）是一种高灵敏度的表面分析技术，可用于量测材料表面的元素组成与化学键结状态，当材料表面受到 X 光照射时，会产生光电效应，使材料内层轨域的电子被激发并释放为光电子，这些光电子经由能量分析器量测后，可得到其束缚能能谱。由于不同元素及不同电子轨域具有特定的束缚能，因此可透过能谱判断：元素种类、元素比例、化学键结状态。

此外，当元素与不同元素形成化学键结时，其电子束缚能会产生化学位移，例如金属氧化程度越高，其束缚能通常会越高，因此可利用此特性分析材料的化学状态与氧化态，XPS主要量测材料表面约 1–10 nm 深度范围的元素与化学资讯，因此非常适合用于表面化学分析与薄膜材料研究。