Junction & Doping Profile Analysis
接面与掺杂分析
PN 接面深度与掺杂浓度分布会直接影响太阳能电池转换效率与电性表现，透过深度分析技术可优化制程条件。
分析项目
- Junction depth 量测
- 掺杂浓度轮廓分析
- 扩散层深度量测
- 超浅结分析
- 掺杂均匀性评估
SIMS 应用
- 超浅结分析
- 非常薄的层（十埃）分析
- 掺杂轮廓/深度轮廓
- 背面铜扩散
- 污染验证
- 出色的检测限（ppm到ppb）
- 可以检测所有元素和同位素，包括H
- 极好的深度分辨率，可能达到1nm
- 通过标准参考定量
- 绝缘子可以测量
-
(a)超浅结 -
(b)高深度分辨率
硅太阳能电池的SIMS分析
