样品制备（Sample Preparation）是进行分析与检测前最基本、也最不能省略的一步，透过研磨、萃取、过滤、稀释等物理或化学方式，把样品调整到适合量测的状态，不论是固体、液体，甚至是半导体元件，都需要依照材料特性做不同的前处理，这些步骤看似琐碎，却直接影响后续分析结果是否可靠。

在 IC 设计完成后，不管是要做功能性测试、可靠度测试，还是进行故障分析，样品都得先处理好才能开始量测，前处理做得精准与否，会左右测试准确度，也会影响缺陷是否容易被找出。因此，样品制备不只是流程的一环，而是一段左右成败的关键步骤。