化学质谱分析（Mass Spectrometry, MS）是一种高灵敏度的分析技术，可依分析需求，提供元素或有机物定性或定量的检测资讯，广泛应用于材料分析、半导体分析、晶圆表面元素及有机物污染检测、物质成分分析、环境监测、添加物鑑别、生物医学研究、释气分析、残留物检测、食品检测与化学研究等领域。
质谱分析可用于鑑定未知化合物、分析分子结构、测定分子量以及进行微量元素与有机成分分析，质谱图与光谱类似，但显示的是样品中不同质荷比离子的讯号强度，透过分析离子讯号与碎片结构，可以推断化合物的组成、同位素比例与分子结构。闳康科技提供多种质谱分析服务，可应用于无机元素分析、有机物分析与微量污染物检测：
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ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）：提供样品微量元素检测分析，具极佳灵敏度及侦测极限，广泛运用如材料、土壤、环境水质、食品及药物检测、生物医学等不同领域的元素分析。
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GC-MS（Gas Chromatography–Mass Spectrometry）：可在资料库比对后，提供定性资讯，主要可针对弱 / 非极性有机物进行检测；搭配热脱附装置，可进行释气(outgassing) 成分分析。
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LC-MS（Liquid Chromatography–Mass Spectrometry）：可针对极性有机物进行筛测，在标准品可取得前提时，提供定量分析资讯，亦可应用于水溶性有机物的药残留检测。
用来测量质谱的仪器称为质谱仪，其结构包括离子源、质量分析器与侦测器三大部分，质谱分析其基本原理是使试样中的成份在离子源中发生电离，生成不同荷质比的带正电荷离子，经加速电场的作用后，形成离子束、并进入质量分析器。
在质量分析器中，再利用电场或磁场使不同荷质比的离子在空间上或时间上分离，或是透过过滤的方式，将它们分别聚焦到侦测器而得到质谱图，从而获得质量与浓度 (或分压)相关的图谱。质谱仪种类非常多，从应用角度，质谱仪大致可以分成下列类别：
- 有机质谱仪，例如气相色谱-质谱联用仪 (GC-MS)、液相色谱-质谱联用仪(LC-MS) 等。
- 无机质谱仪，例如电感耦合电浆体质谱法 (ICP-MS)、二次离子质谱仪 (SIMS) 等。
- 其它类质谱仪，例如电喷雾电离质谱、基质辅助雷射解析电离质谱等。
分析应用
常见的分析项目例如晶圆表面微量元素污染、物质组成及成分检测、添加物测定、释气检验、有机分子之分子量测定等等。
