FTIR 傅立叶转换红外光谱

傅立叶转换红外光谱仪（Fourier Transform Infrared Spectroscopy, FTIR）是一种利用红外光吸收特性进行材料有机成分分析的光谱技术。

FTIR 透过干涉仪（Interferometer）产生干涉图谱（Interferogram），再经由傅立叶转换（Fourier Transform）转换为红外光光谱。

当红外光照射到样品时，有机分子中的有机化学键会吸收特定波长的红外光，使有机分子产生振动与转动能阶变化，因此不同化有机学键会对应不同的吸收峰。

透过有机分析光谱中各吸收峰的位置与强度，即可判断材料的有机化学官能基（Functional Group）与有机分子结构。

FTIR 属于非破坏性分析技术，常以**穿透率（Transmittance）对波数（Wavenumber）**绘制光谱图来表示样品对红外光的吸收情形。

常见量测模式包括：

• 穿透式（Transmission）

• 衰减全反射式（ATR, Attenuated Total Reflection）

一般红外光分析波数范围为：

4000 – 650 cm⁻¹

表面有机未知物分析

透过资料库比对与光谱指纹区（Fingerprint Region）分析，可鉴定材料中的有机化学官能基与组成。

一般建议样品尺寸：

• 面积 > 50 µm

• 厚度 > 1 µm

若样品尺寸较小，可进一步评估适合的分析方式。

定性比对分析

可将样品有机光谱与已知有机材料光谱进行比对，例如：

• 制程材料与有机污染物比对

• 正常区与异常区比较

• 标准样品与测试样品比较

半定量分析

透过建立检量线进行半定量分析，通常建议提供：

7 个不同浓度的标准样品

以建立浓度与吸收强度之关系。

Mapping 分析

FTIR 可进行微区光谱 Mapping，分析指定区域内的有机官能基浓度分布。

例如：

• 分析区域：30 µm × 30 µm

• 同时取得 光谱资讯与空间分布图

可用于研究材料组成在微区域中的分布变化。