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返修工作站

Rework Station

在半导体封装与电子产品开发过程中,当元件发生异常、需进行替换或进一步分析时,Rework(返修)技术即成为不可或缺的关键制程。透过精密返修设备,可在不损伤基板与周边元件的前提下,完成 IC 拆卸、清洁、重植球与回焊等操作,闳康科技导入高精度 Rework Station(返修工作站),提供完整且可控的返修流程,支持先进封装、失效分析(FA)、可靠度验证(RA)及研发测试需求,协助客户快速完成样品重建与问题解析。

技术原理与制程
精准控制拆焊与回焊,确保封装品质

返修制程的核心在于温度、时间与对位的精密控制。当元件透过热能进行拆焊后,需完整清除焊垫残留的焊料,并重新建立稳定的锡球结构,最后透过精准对位与回焊程序,使元件再次与基板形成可靠的电性与机械连接,从拆焊、焊垫清洁、植球到回焊,每一阶段皆需精密控制,以确保封装品质与电性稳定,制程不仅要求设备性能稳定,更依赖工程经验对不同材料与封装结构进行调整,才能有效避免焊垫损伤、元件偏移或热影响区过度扩散等问题。

 

IC 返修制程流程示意

  1. IC 拆焊(Debonding):透过热风或红外加热,将元件从 PCB 上安全拆除。

  2. 焊垫清洁(Pad Cleaning):清除残余焊料,确保焊垫完整性。

  3. 植球(Reballing):重新制作锡球结构。

  4. 精准对位(Alignment):利用光学系统进行高精度定位。

  5. 回焊(Reflow):完成元件重新接合。

 

 

应用范围

Rework Station 的应用涵盖多种封装型式与电子元件,包括 BGA、QFN、QFP、PoP 及各类高密度封装,同时亦可应用于连接器、射频模组、子板结构以及含 underfill 或保护涂层的样品,在实务应用中,此技术常用于失效元件替换、电性验证重建、封装缺陷分析与研发样品制备,透过与扫描式电子显微镜(SEM)、X-ray、超音波扫描(SAT)及 FIB 等分析技术整合,可大幅提升问题定位效率与分析深度。

闳康科技 Rework 服务优势
加速研发、提升分析成功率的关键能力

在高复杂度的半导体封装与电子产品开发环境中,Rework 不只是修复手段,更是重新建立样品与验证假设的重要工具。闳康科技透过完整的设备建置与跨技术整合能力,能协助客户在最短时间内完成样品重建与问题解析,当样品「不能动」时,Rework 让它重新开口说话,而闳康的价值,就是让这个过程又快又准。

 

机台介绍
图|Rework Station 设备(FINEPLACER® coreplus)
高精度返修设备整合拆焊、植球与回焊功能,可对各类封装元件进行稳定且可控的制程操作。

Rework Station 整合拆焊、清洁、植球与回焊等制程于单一平台,可针对不同封装类型进行精密控制。无论是微小被动元件,或是 WLCSP、BGA、PoP 及 InFO 等先进封装,皆可透过稳定的温控与对位系统进行处理,Rework Station 可在同一平台完成以下流程:

  • IC 解焊(Debonding)

  • 残余焊料清除(Solder removal)

  • 植球(Reballing)

  • 元件回焊(Reflow)

 

系统支持从微小被动元件到大型先进封装,包含:

  • WLCSP

  • BGA / µBGA

  • PoP(Package on Package)

  • InFO(Fan-Out 封装)

 

闳康科技 Rework Station 的核心优势,在于结合高精度设备与丰富制程经验,使返修过程不仅快速且具高度稳定性,透过精准对位系统与可控加热曲线,可有效降低基板损伤与焊垫剥离风险,同时提升回焊成功率,此外,返修技术并非单一制程,而是与材料分析与失效分析紧密结合。闳康科技可在完成返修后,立即衔接后续分析流程,从结构观察到根因判定,提供完整的一站式解决方案。

 

Underfill 拆解与进阶应用
图|Underfill 移除与 IC 拆解实例
随着先进封装技术发展,Underfill 已广泛应用于提升元件机械强度与可靠度,但同时也增加返修难度。闳康科技透过专用拆解工具与制程控制,可在维持基板与焊垫完整性的前提下,有效去除 underfill 并完成 IC 拆卸,适用于失效分析样品制备与高价值元件回收,能大幅提升分析成功率与样品可用性,透过专用工具可有效去除 underfill 与焊料,并保留基板与焊垫结构,利于后续分析。
 
 

 

 

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01.01
1970
本次 MAFT 研讨会以「创新器件 & 封装」为核心主题,邀请专家学者们,聚焦超晶格铁电存储器、硅光子、6G高频EMI封装与量子计算等前瞻议题,带领与会者深入掌握下一世代半导体技术发展脉络。
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