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雷射蚀刻去封胶

Laser Decap

雷射蚀刻去封胶(Laser Decapsulation)是非接触式制程,常用于失效分析的样品制备技术,在许多需要局部开封或快速检测的分析流程中,透过高能量雷射光束照射封装材料,使 环氧树脂产生热分解或灰化,从而逐步去除封装层并裸露晶粒与内部结构。

 

相较于化学去封胶,雷射去封胶具有高精度加工能力,可透过控制雷射功率、扫描范围与加工深度,精准调整开封区域,能有效 控制开窗尺寸,避免过度蚀刻造成晶粒或金线结构损伤,同时降低对 IC 电性的影响。

闳康科技雷射蚀刻去封胶的优势
高精度 IC 去封装与失效分析解决方案

闳康科技长期深耕半导体材料分析与失效分析领域,具备完整的 雷射去封胶与显微分析整合能力。透过高精度雷射去封装设备与专业制程控制,可精确移除 IC 封装树脂,并有效保护晶粒与内部封装结构,为后续失效分析与显微检测提供高品质样品。

 

闳康科技亦可将 雷射去封胶与化学蚀刻去封胶技术整合应用,先利用雷射进行局部开封,再透过化学蚀刻去除残余封装材料,以确保晶粒结构完整裸露并提升分析品质,结合 OM、SEM、FIB 与 TEM 等多种材料分析技术,闳康科技能提供完整的 IC 失效分析与封装结构检测服务,协助客户快速定位问题并提升产品可靠度。

 

 

 

  • 精准控制开窗范围:透过雷射加工技术,可精确控制去封装区域与深度,避免过度蚀刻造成晶粒或金线结构损伤,特别适合局部开封与精密分析需求。
  • 快速且高效率的样品制备:雷射去封胶可快速移除封装材料,大幅缩短样品制备时间,提升失效分析与品质检测的效率。
  • 降低对元件电性的影响:透过精确的雷射能量控制,可有效降低加工过程对 IC 电性与内部结构造成的影响,确保后续电性分析的可靠性。
  • 适用多种封装结构:雷射去封胶技术可应用于多种 IC 封装型式,例如 QFN、BGA、SOP、QFP 等封装元件,能因应不同分析需求进行客制化开封。

 

 

分析应用

雷射去封胶完成后,可裸露晶粒与内部封装结构,以进行后续显微分析与电路检测,例如:IC 失效分析(Failure Analysis)、封装结构检查、金线接点品质分析与电路观察与逆向工程等。

  • 图|雷射精准开窗观察晶粒结构

    雷射去封胶可精确控制开窗范围,使封装树脂局部移除并裸露晶粒与内部金线结构,便于后续显微观察与电性分析。

  • 图|金线第二接点品质检测

    雷射开封后可利用显微分析技术观察金线接点(Bonding)结构,例如第二接点(Second bond)品质、焊接形貌与接合状态,以评估封装可靠度。

 

 

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01.01
1970
本次 MAFT 研讨会以「创新器件 & 封装」为核心主题,邀请专家学者们,聚焦超晶格铁电存储器、硅光子、6G高频EMI封装与量子计算等前瞻议题,带领与会者深入掌握下一世代半导体技术发展脉络。
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