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EFA
电性故障分析

电性量测是故障分析与可靠度评估流程中的第一步,透过非破坏性的量测方式,即可快速判断元件是否存在异常,并有效缩小后续材料分析、结构分析或破坏性分析的范围,提升整体分析效率与准确度。

 

电性量测的目的,在于验证并量化半导体电子元件的关键电性参数与动作特性,包含电压–电流(I-V)、电容–电压(C-V)特性曲线,以及电阻、电容、电感与讯号波形等量测结果,透过精确的电性量测,可协助工程人员判断元件是否符合设计规格,并进一步分析异常行为背后的失效模式与故障机制,作为后续故障分析(FA)、可靠度验证或制程改善的重要依据。

 

闳康科技晶片层级(Chip Level)量测能力|支援硬针与软针探测,对应多元分析需求

闳康科技可提供 Chip Level 电性量测服务,支援硬针与软针探测方式,其中软针特别适用于线路修补后的电性验证与确认。量测作业搭配高精度 Probe Station 与客制化针座,可同时进行多点接触(最多六针),以提升量测效率与稳定性;Probe Station 并整合 Laser Cutting System,可辅助精准定位量测区域,支援微小结构或局部电性分析需求。

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闳康科技量测设备与系统配置|涵盖低电流到高功率的完整电性量测范围

闳康科技建置完整的电性量测设备组合,能对应从低漏电元件到高功率器件的测试需求,主要设备包含:

  • 半导体参数分析仪

    • HP 4156C

    • Keysight B1500A

  • 高功率器件分析仪

    • Keysight B1506A(±3 kV / 20 A)

  • 高压电源供应器

    • Keithley 2410

    • Keithley 2290(5 kV / 5 mA)

  • 多输出与一般电源供应器

  • 数位电錶(DMM)与示波器

  • 直流电子负载(DC Electronic Load)

  • 讯号产生器(Function Generator)

透过设备间的整合配置,可灵活执行 DC、AC 与动态电性量测。

  • 图|半导体参数分析仪 (HP4156C) 
  • 半导体参数分析仪 (Keysight B1500A)
  • 高压电源供应器 (Keithley 2410)
  • 图|高压电源供应器 (Keithley 2290, 5KV/5mA)
  • 图|三输出电源供应器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A)
  • 图|电源供应器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A)
  • 图|数位电錶 (34401A) 
  • 图|示波器 (DSO-X 3104A)
  • 图|直流电子负载 (DC Electronic Load 63600)
  • 图|讯号产生器 (Keysight 33500B)
  • 图|高功率器件分析仪 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A)

 

Service Examples
服务项目

PEM-CCD

InGaAs 砷化鎵铟微光显微镜

C-AFM 导电原子力显微镜

纳米探针电性量测技术

SEM-based Nano-probing

Thermal EMMI

OBIRCH 雷射光束电阻异常侦测

EBIRCH 电子束诱发阻值变化技术

EBAC 电子束吸收电流分析技术

EBIC 电子束诱发电流分析技术

线上报名
01.01
1970
本次 MAFT 研讨会以「创新器件 & 封装」为核心主题,邀请专家学者们,聚焦超晶格铁电存储器、硅光子、6G高频EMI封装与量子计算等前瞻议题,带领与会者深入掌握下一世代半导体技术发展脉络。
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