LED Surface Analysis
LED 表面形貌与制程分析
LED 芯片的表面结构与制程品质，会直接影响元件的光输出效率、散热能力与整体可靠度。在 LED 磊晶成长、蚀刻与表面粗化等制程过程中，若表面形貌或微结构出现异常，可能导致发光效率下降、光学分布不均或元件性能不稳定。
表面型态
光学干涉形貌仪
扫描式电子显微镜
扫描式电子显微镜俯视图；LED晶粒表面粗化观察
芯片结构及薄膜厚度
扫描式电子显微镜
双粒子束断层扫描
双粒子束断层扫描精密纵切面图
穿透式电子显微镜
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穿透式电子显微镜纵切面图 -
(a)MQW and super lattice；(b)HR TEM of MQW；(c)PSS and buffer layer
